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詳細(xì)摘要： 潔凈室的空氣潔凈度等級(jí)以及潔凈室形式應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝對(duì)生產(chǎn)環(huán)境的要求確定。

詳細(xì)摘要： 6.1.2 TFT-LCD 工廠一般由陣列、成盒、彩膜、模組等生產(chǎn)廠房、動(dòng)力廠房、化學(xué)品庫(kù)、化學(xué)品配送車間、辦公樓等建筑組成。生產(chǎn)廠房、辦公樓、動(dòng)力廠房之間的人...

詳細(xì)摘要： 3.4.3生產(chǎn)環(huán)境及動(dòng)力品質(zhì)應(yīng)符合硅太陽(yáng)能電池生產(chǎn)工藝的要求。5.2通風(fēng)5.2.3符合下列情況之一時(shí)，應(yīng)單獨(dú)設(shè)置局部排風(fēng)系統(tǒng)：太陽(yáng)能電池?zé)o塵車間施工

詳細(xì)摘要： 微?？刂剖謬?yán)格、要求控制0.02μm甚至更小粒徑ISO1級(jí)或更嚴(yán)格。高純物質(zhì)，包括高純水、高純氣體高純化學(xué)品的供應(yīng)、輸送。對(duì)微振控制十分嚴(yán)格、需制定切實(shí)可行的...